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技術(shù)中心成功制備出鉬鈮合金管狀靶材
作者:劉仁智 安 耿 日期:2020年07月20日 00:00 人氣:

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     近日,技術(shù)中心科研團(tuán)隊依托陜西省重點(diǎn)研發(fā)計劃項目,成功制備出鉬鈮合金管狀靶材,這又一依托科研項目開發(fā)的新產(chǎn)品取得階段性成果,為后續(xù)提供給用戶更大規(guī)格鉬鈮管狀靶材產(chǎn)品及持續(xù)的訂單供貨奠定了堅實(shí)基礎(chǔ)。

      高性能觸控顯示屏中的電極及配線材料廣泛使用MoNb-AlNd-MoNb堆積而成的三明治結(jié)構(gòu)金屬薄膜。使用鉬鈮合金靶材形成的薄膜可使觸控顯示屏的像素提高或者擴(kuò)大兩倍以上,使得長電極大顯示屏的信息容量、清晰度、分辨能力得到突破性的發(fā)展。鉬鈮管狀靶材因比板狀靶材有著更高的材料利用率而逐漸被大量應(yīng)用,市場份額迅速擴(kuò)大。但因鉬鈮管狀靶材有著較大的尺寸規(guī)格要求,另外材料本身的原因?qū)е缕浼庸こ尚碗y度大。

      面對機(jī)遇與挑戰(zhàn),技術(shù)中心科研團(tuán)隊依托陜西省重點(diǎn)研發(fā)計劃項目——高性能觸控顯示屏用鉬鈮合金靶材的技術(shù)研究及產(chǎn)品開發(fā) ,開展了持續(xù)的技術(shù)攻關(guān)。經(jīng)過不懈的努力和刻苦的鉆研,科研團(tuán)隊成功攻克了鉬鈮合金管狀靶材成型技術(shù)難關(guān),制備出了外徑140~180mm、壁厚8~12mm、單支長度可達(dá)500mm以上的鉬鈮合金管狀靶材。通過用戶試用,靶材各項性能指標(biāo)滿足要求。

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